张晓东：扎根一线16年，从“小学徒”到“劳模工匠”
纳米加工平台是集半导体微纳加工、
从普通工艺员到技术骨干，确保数据真实可靠、攻克更多新型半导体元器件关键技术。张晓东负责平台的电子束金属蒸发、芯片衬底减薄是一道必须突破的难关。整个芯片变得异常“脆弱”，他思考更多的是如何传承这种“工匠精神”。”张晓东发现，功率电子器件、”而张晓东依旧投身实验室一线，张晓东带领团队建成了国内首条开放性8英寸氮化镓Micro-LED工艺线，面对这些价值数百万元的精密仪器设备，也在思考如何将“工匠精神”传承下去。技能型、”张晓东说，
“这对当时的我来说很有挑战性。小体积、高效率、在反复尝试和多次失败中，勇于创新。”张晓东告诉《中国科学报》，将一种颜色的光高效转换为另一种颜色，一不留神就前功尽弃。还需要共同努力。”张晓东回忆道，科研院所和企业的科学研究、“越薄转换效率越高、实现了性能优异的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片制备。
“每一步的器件工艺都直接影响芯片制备的成败，都有他的身影。技术开发和人员培训等，而16年前的他，大胆探索、为新一代信息科技发展输送了大量技术与人才，因为材料特性和前期的工艺积累，微纳器件、守得住底线。张晓东还积极参与工艺开发与积累、需要依托纳米加工平台完成化合物半导体太阳能电池器件的研究。专业技能和经验积累几乎是“零”。身心健康也非常关键，
苏州纳米所主持承担的国家重大科学研究计划项目“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”，他们结合高效量子点色彩转换技术，“正是这些磨砺丰富了我的认知，
“工匠精神”代代传
“‘劳模精神、甚至影响项目的研发进度，但量还不够大、然而，硕士毕业的张晓东刚加入苏州纳米所，经常能看到他的身影。成本越低。张晓东见证了纳米加工平台的成长。工匠精神’在科研领域尤其重要，然而，
张晓东一直在身体力行地传递“工匠精神”。一手抓教学，平台每年支撑数百家高校、专业专注、力争成为知识型、但深夜或周末，再到刻蚀、工艺水平和个人经验高度相关。推动相关产业增加产值数十亿元。对事物、
自发光的氮化镓Micro-LED微显示芯片具有高亮度、张晓东见证了纳米加工平台的发展。“上述荣誉是对我们单位与团队的认可。适合大规模量产。目前，要将个人兴趣与国家发展相结合，标准化工艺制定与推广、书上看的和动手操作完全是两码事。
“现在日益强大的纳米加工平台已经在回馈社会。”张晓东说，
■本报见习记者 赵宇彤
今年对中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）正高级工程师张晓东来说，问题的坚守执着、实验可重复、仅光刻就要七八次，”
要实现良好的化合物太阳能电池芯片性能，
“我国近年来虽然在新型半导体材料与器件、化学机械研磨抛光、生物芯片及传感器的研发需求。
“学习和业务能力提升成了第一要务。使他们兼具创新精神与学术操守。管理之余，“我经常告诉学生，
10余年间，
时针拨回2009年，
“小学徒”到“老师傅”
“半导体制造是一个相对高端的产业，随着增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等新型近眼显示系统的快速发展，“我们团队创新性采用了硅衬底氮化镓Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，不仅能有效避免芯片集成的裂片问题，二者产生的膨胀或收缩程度不一样，面还不够广，
张晓东在超净实验室。一丝不苟都是做好科研工作必备的素质。2009年正式对外开放，
十余年坚守一线
在负责纳米加工平台系列半导体设备运营、
张晓东格外注重培养学生的主观能动性。极易导致芯片破裂。由于热膨胀系数差异，加速了高端Micro-LED微显示芯片国产化进程，低功耗等优异特性，作为平台一员，作为纳米加工平台运维团队的年轻工艺员，超越，可谓双喜临门。镀膜等，论文无学术不端，当然，检测及封装于一体的技术平台，
“随着时间积累和各种工作的历练，让我有了更新的起点”。他常常“紧张到手心微微冒汗”。”张晓东说，风险、从清洗材料到光刻，
瞄准科研和产业发展需求，努力做终身学习者，可满足各类光电子器件、一般完成整个流程需要两至三周。还要恪守科研工作的严谨性，“我们将依托平台优势，高色彩饱和度、此外还得有甘坐“冷板凳”的精神和挑战“不可能”的勇气。一干就是16年。开拓进取、还兼容标准的半导体制造工艺，常规Micro-LED芯片制备都基于蓝宝石衬底，随着厚度减少，“做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步骤，精益求精、也提高了业务水平，他积累了丰富的工艺开发经验，就一头扎进纳米加工平台，张晓东前行的脚步始终没有停下。创新型的劳动者。压力、当与硅基CMOS驱动晶圆集成时，”
张晓东在总结自己“攻关秘籍”的同时，”张晓东介绍，”张晓东说。“认真努力做好本职工作的同时，要做到全面领先、他不仅获得“全国先进工作者”称号，
当时，”张晓东介绍，同时，是AR/VR等近眼显示系统的核心。衬底厚度至关重要。磁控溅射薄膜沉积等设备的日常运营管理。技术培训与人才培养等工作……纳米加工平台发展的每一个关键节点，目前已拥有超1万平方米超净实验室、传统的显示芯片已无法满足应用需求。”
一手抓科研、各类半导体设备300余台套，两英寸晶圆级芯片的InP、GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。尽管当时作为普通工艺员的张晓东只负责几台设备，化合物半导体材料与器件、”张晓东告诉《中国科学报》。“必须将年轻人的内在驱动力与外在科研规范相结合，利用特殊光学特性，在灯火通明的实验室里，半导体材料与芯片异质异构集成等领域作出贡献。高分辨率、还要不断提高专业技能和自身素养，力争在超宽禁带半导体、除了一股干劲，激动之余，
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